1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种承片台及探针台.pdfVIP

  • 3
  • 0
  • 约4.44千字
  • 约 6页
  • 2023-02-16 发布于四川
  • 举报

一种承片台及探针台.pdf

    本实用新型公开了一种承片台及探针台。一种承片台，所述承片台包括放片盘和测位块，所述测位块固定于放片盘，且测位块位于放片盘侧面；一种应用该承片台的探针台；通过检测位于放片盘上的硅片，及连接于放片盘的测位块实现对硅片厚度的实时测试；减小了放片盘的面积，提升了放片盘的平面度。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212620649 U (45)授权公告日 2021.02.26 (21)申请号 202021293199.9 (22)申请日 2020.07.06 (73)专利权人 矽电半导体设备（深圳）股份有限

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >