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级联器件.pdfVIP

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  • 2023-02-17 发布于四川
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级联器件.pdf

    本实用新型揭示了一种级联器件，所述级联器件包括衬底、位于衬底上的外延结构、位于外延结构上的若干钝化层及若干电极，所述外延结构包括位于衬底上的沟道层及位于沟道层上的势垒层，所述外延结构上设有增强区域及耗尽区域，所述电极包括位于外延结构上的源极、漏极、中间电极、第一栅极、第二栅极，第二栅极与源极电性连接，所述源极、漏极、第一栅极分别作为级联器件的源极、漏极和栅极。本实用新型通过在级联器件中引入中间电极，有效地分离了级联器件中低压增强型部分与高压耗尽型部分的相互作用；抑制了低压部分栅极因干法刻蚀而导致

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212648245 U (45)授权公告日 2021.03.02 (21)申请号 202021934893.4 (ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利 (22)申请日 2020

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