1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

晶圆镀液的快速降温系统.pdfVIP

  • 1
  • 0
  • 约1.02万字
  • 约 11页
  • 2023-02-17 发布于四川
  • 举报

晶圆镀液的快速降温系统.pdf

    本实用新型属于半导体芯片加工设备领域，具体涉及一种晶圆镀液的快速降温系统，解决了现有技术中晶圆化镀效率低的缺陷，提供一种可快速降温排放的高效率的晶圆镀液的快速降温系统，包括镀液槽，镀液槽内循环管道，热交换器，加热机，压缩空气进入口，压缩空气管道，纯水入口，纯水管道，循环泵，控制阀，所述镀液槽与镀液槽内循环管道连通，镀液槽内循环管道上设有换热分支管道和循环排放分支管道，换热分支管道与热交换器连通，循环泵位于换热分支管道上；管道上设有控制阀；所述加热机与热交换器通过管道连接。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212640606 U (45)授权公告日 2021.03.02 (21)申请号 202021945516.0 (22)申请日 2020.09.08 (73)专利权人 河北广创电子科技有限公司

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >