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2023-02-24 发布于云南
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ACS自动镀膜控制装置使用说明书.pdf

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自动镀膜控制装置使用说明书 ACS (Gener) Optorun Co., Ltd. Japan 350-0801 10-1 Takeno Kawagoe Saitama-Ken Optorun Co., Ltd. Ver. 1.0 Date 2005.08 目录开始…1 术语2 姬履历 3 第1章基本操作4 1.1. 计 WL及系统的起动 4 1.1.1. 计算机的起动4 1.1. 2. 系统的起动 4 1.2. 系统ACS及计算机的关闭 4 1. 2. 1. 系统的关闭 4 1.2.2. 计算机的关闭 4 1.3. 主操作画面 5 1. 3.1. 文件选择部分 6 1. 3. 2. 设定部分 7 1. 3. 3. 命令项目部分8 1. 3. 4. 电子枪控制部分8 1. 3. 5. 维护部分9 1. 3. 6. 确认部分 10 1.4. ACS文件夹构造11 第2章工艺文件 12 2.1. 预溶工艺文件 12 2.1.1. 文件部分12 2.1.2. 参数部分动作条件 13 2.1. 3. 参数EB放射电流控制 14 2.1. 4. 参数 Beam Rotation 14 2.1.5. 参数 CUP 指定 15 2.1.6. 命令部分 16 2. 2. 成馍参数文件 16 2.2.1. 命令部分 17 2.2.2. Batch参数17 2.2.3. 各层参数 18 2. 2. 4. Material、Material (RH)20 2.2.5. IBS26 2. 3.参，的0G文件时的操作26 第3章材料预熔27 3.1. 参数 28 3. 2.处理状态 28 3. 3. EB 微调整29 Optorun Co., Ltd. Ver. 1.0 Date 2005.08 3. 4. Cup 状态 29 第4章助奠 30 4.1. 硼处理流程30 4. 2.复原动作的选择 30 4. 3.确 TOGGLE SWITCH 31 4.4. Filament anneal 31 4. 5.确成膜开始条件32 4. 6.离子枪暖机 33 4. 7.设定离子枪参数34 4. 8.指定层分的眺35 4. 8. 1.表示层处理状态 36 4. 8. 2.当前层参数 36 4. 8.3.数据图形 38 4.8.4.EB, RH 等的设定变更部分 39 4.8.5.接续机器的状态表示 42 4. 8. 6.命令按钮部分 42 第5章水晶传感器检测 44 第6章维护45 6.1.维护参数的种类45 6. 2.维护时期的管理45 6. 3.进展条的设定方法 45 第7章异常处理 46 7.1.异