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一种静电卡盘.pdfVIP

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  • 2023-02-17 发布于四川
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一种静电卡盘.pdf

    本实用新型公开一种静电卡盘，其包括陶瓷基体，所述陶瓷基体埋设有静电电极和加热电极，所述静电电极和加热电极在陶瓷基体中具有高度差，所述陶瓷基体和静电电极、加热电极一次烧结成型。与现有技术相比，本实用新型的静电卡盘的加热电极和静电电极是埋伏在陶瓷基体内且一次烧结成型的，避免了多次烧结带来的材料尺寸差异和内部组织恶化，实现分区加热和控温，达到升温效率高，温度均匀性高的指标。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212659526 U (45)授权公告日 2021.03.05 (21)申请号 202021304730.8 (22)申请日 2020.07.06 (73)专利权人 北京华卓精科科技股份有限公司

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