微束分析 原子序数不小于11的元素 能谱法定量分析.pdfVIP

微束分析 原子序数不小于11 的元素能谱法定量分析 1 范围 本文件规定了用安装在扫描电镜 （SEM）或电子探针 （EPMA ）上的能谱仪对试样上特定点或特定 区域进行定量分析的方法。本文件描述了多种能谱法定量分析方法。 本文件适用于利用参考物质或 “无标样”程序对质量分数高于1％的、原子序数不小于11的元素进 行定量分析。 本文件也给出了对原子序数小于11的轻元素分析方法的信息。 注：当没有重叠峰，并且相应的特征 X 射线被强烈地激发时，能谱仪也可以测量质量分数在0.1 ％水平的元素。本 文件主要应用于表面平整试样的定量分析，基本方法也适用于表面不平整试样的分析，但会引入附加的不确定 度分量。 2 规范性引用文件 下列文件全部或部分地引用于本文件中，且对于本文件的使用不可缺少。对于注明日期的引用文件， 仅注日期的版本适用于本文件。对于不注明日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于 本文件。 GB/T 20726—2006 半导体探测器X射线能谱仪通则 （ISO15632 ：2002 ，IDT ） GB/T 27025—2008 检测和校准实验室能力的通用要求 （ISO/IEC 17025 ：2005 ，IDT ）