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蓝宝石图形化衬底片 1 范围 本文件规定了蓝宝石图形化衬底片 （以下简称 “衬底片”）的产品分类、要求、试验方法、检验规 则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。 本文件适用于蓝宝石图形化衬底片的研发、生长制备、测试分析、检验鉴定及其性能质量评价。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件， 仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本 （包括所有的修改单）适用于本 文件。 GB/T 2828.1 计数抽样检验程序 第1部分：按接收质量限 （AQL）检索的逐批检验抽样计划 GB/T 6624 硅抛光片表面质量目测检验方法 GB/T 8758 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法 GB/T 14140 硅片直径测量方法 GB/T 14264 半导体材料术语 GB/T 30854 LED发光用氮化镓基外延片 3 术语和定义 GB/T 14264界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 图形化衬底 patterned substrate 衬底表面通过通过黄光光刻或压印图形掩膜工艺再经等离子体刻蚀技术制成的具有一系列圆锥形 突