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高精度温湿度控制技术综述 引言 随着微加工技术、测量技术的发展，在进行精密加工及高精度测量时，对于加工测量环境的要求也越来越高，如纳米级加工和测量、晶体生长，环境的微小变化对于实验结果影响很大。在纳米测量领域，热变形是造成纳米测量机台重复性不良和精度低的一个重要原因。对于晶体生长而言，微小的温度波动会极大的影响晶体质量。 为实现不同场景的高精度温湿度控制，许多学者进行了大量的研究，基于不同的电子器件和控制方法研发了许多温湿度控制方案。本文综述了调节温湿度的不同方法，以及不同的温湿度控制方法。 研究现状 美国国家标准技术研究所(NIST)在研究分子测量机(Molecular Measur