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晶圆切割制品清洗装置.pdfVIP

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  • 2023-02-20 发布于四川
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晶圆切割制品清洗装置.pdf

    本实用新型提供了一种晶圆切割制品清洗装置，包括清洗仓以及设置在清洗仓内的工作台与清洗喷头，清洗仓上还设有排气口，工作台的台面一侧以及与工作台的台面相背的一侧均设有清洗喷头，清洗喷头的喷洒方向朝向工作台。本实用新型技术方案通过在工作台的上下两侧各设置一个清洗喷头，以对工作台上的晶圆切割制品的两侧同时进行清洗，同时通过调节清洗喷头的出风压力，以清洗不同顽固程度的颗粒，将清洗下来的颗粒通过排气口排出以集中收集，从而避免了颗粒的飞扬和二次污染，提高清洗质量以及清洗效率以满足光学玻璃表面的洁净度要求。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212703411 U (45)授权公告日 2021.03.16 (21)申请号 202021235924.7 (22)申请日 2020.06.29 (73)专利权人 歌尔股份有限公司 地

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