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喷淋式进气CVD的垂直喷淋装置.pdfVIP

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  • 2023-02-20 发布于四川
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喷淋式进气CVD的垂直喷淋装置.pdf

    本实用新型涉及一种喷淋式进气CVD的垂直喷淋装置，它包括喷淋管与喷淋头，喷淋管的下端部固定有喷淋头，喷淋管的中段为具有螺旋管结构的预热区，在喷淋头的底板上开设有喷淋孔。本实用新型安装使用后，气体充分预热，气相碳源垂在喷淋装置内充分预热，使其反应更充分。气源喷淋射出，使气相碳源作用在基底上时有股压力，压力可以通过调节喷淋时间和喷气压力来调节，使二维材料更好的反应。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212713746 U (45)授权公告日 2021.03.16 (21)申请号 202021104502.6 (22)申请日 2020.06.15 (73)专利权人 无

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