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一种光程倍增的激光干涉仪用检定装置.pdfVIP

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  • 2023-02-20 发布于四川
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一种光程倍增的激光干涉仪用检定装置.pdf

    本实用新型属于几何测量装置检定装置技术领域，涉及一种激光干涉仪检定装置，尤其是一种光程倍增的激光干涉仪用检定装置，包括一个干涉镜，移动反射镜和标准激光干涉仪，在移动反射镜的反射侧固定安装有一增程反射镜，增程反射镜接收移动反射镜反射的激光束，并将激光束再次反射至移动反射镜表面，由移动反射镜二次反射的激光束最终经干涉镜反射至激光干涉仪的接收侧；在所述干涉镜分光一侧的位置固定有待检的激光干涉仪，干涉镜的对侧与待检激光干涉仪对称的位置安装有固定反射镜，其中标准激光干涉仪，待检激光干涉仪和固定反射镜与干涉

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212721291 U (45)授权公告日 2021.03.16 (21)申请号 202021247831.6 (22)申请日 2020.07.01 (73)专利权人 天津市计量监督检测科学研究院

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