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一种可调节靶材组件.pdfVIP

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  • 2023-02-20 发布于四川
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一种可调节靶材组件.pdf

    本实用新型公开了一种可调节靶材组件，包括靶材组和背板组，靶材组设置在背板组上，靶材组包括第一子靶材和围绕在第一子靶材外侧的第二子靶材，背板组包括第一背板和第二背板，第一子靶材对应第一背板，第二子靶材对应第二背板，工作台上设置有电机，电机上设置有螺杆，螺杆一端活动连接在第一背板上，升降台上与螺杆对应的位置设置有内螺纹，升降台上与第二背板对应的位置设置有支撑件。本实用新型结构简单，在使用过程中可以随时调节第二子靶材的高度，保证使用时第二子靶材与第一子靶材的上端面一直保持平齐，即保持靶材组与工件位置保

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212713730 U (45)授权公告日 2021.03.16 (21)申请号 202021278479.2 (22)申请日 2020.07.02 (73)专利权人 苏州精美科光电材料有限公司

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