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气体激光装置以及曝光系统.pdfVIP

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  • 2023-02-21 发布于四川
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气体激光装置以及曝光系统.pdf

    本申请实施例提供一种气体激光装置以及曝光系统，包括：腔室、第1部件、第2部件、光学元件、第1固定件和第2固定件；第1固定件使所述第1部件、所述第2部件以及所述光学元件一起紧固并且固定在输出部；所述第2部件具有供所述第1部件的一部分露出的切口部，所述第2固定件从所述切口部对所述第1部件进行紧固并固定在所述输出部。由此，施加给光学元件的应力较小，从而抑制在光学元件上的变形，可以改善通过光学元件的激光的波面。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212751392 U (45)授权公告日 2021.03.19 (21)申请号 202021761396.9 (22)申请日 2020.08.21 (73)专利权人 极光先进雷射株式会社

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