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一种等离子刻蚀机气体分配加热器.pdfVIP

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  • 2023-02-21 发布于四川
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一种等离子刻蚀机气体分配加热器.pdf

    本实用新型涉及等离子刻蚀机设备技术领域，具体涉及一种等离子刻蚀机气体分配加热器，包括分配底盘和分配顶盘，分配底盘的内腔底部均匀开设有气流分配出孔，分配底盘的内腔内设有加热组件，分配底盘的顶部设有分配顶盘，分配顶盘的顶部均匀开设有气流分配进孔，本实用新型提供了一种等离子刻蚀机气体分配加热器，通过一系列结构的设计和使用，解决了等离子刻蚀机气体分配加热器在进行使用过程中虽然达到对工艺气体进行加热的目的，但存在结构复杂、加热不均匀和气流分配均匀性较差的问题。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212750802 U (45)授权公告日 2021.03.19 (21)申请号 202021739968.3 (22)申请日 2020.08.19 (73)专利权人 无锡展硕科技有限公司

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