原创力文档- 3
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- 2023-02-21 发布于四川
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本实用新型涉及一种实验室用模块化喷淋式湿电子化学品评价设备，包括配合设有控制器的处理装置、多腔体装置、运送装置；处理装置包括设于多腔体装置顶部的若干喷淋装置和若干吹扫装置；多腔体装置包括顺次连接的第一模块、第三模块、若干第二模块、第三模块和第一模块，喷淋装置或吹扫装置配合设置在第二模块顶部，前端和后端的第三模块顶部分别设置喷淋装置和吹扫装置，两个第三模块对称；运送装置与第二模块和第三模块配合。本实用新型适用于湿电子化学品开发过程中小批量产品在线验证，参考价值高，避免评价偏差，充分满足模拟；实验规
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212722002 U
(45)授权公告日 2021.03.16
(21)申请号 202021381258.8
(22)申请日 2020.07.14
(73)专利权人 杭州格林达电子材料股份有限公
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