一种蒸镀遮挡设备.pdfVIP

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2023-02-21 发布于四川
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一种蒸镀遮挡设备.pdf

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本实用新型公开一种蒸镀遮挡设备，包括上下开口的本体、后盖、多个凹陷结构、进气口，所述后盖铰接在所述本体的上部，多个凹陷结构设置在所述本体的底部，所述凹陷结构的凹陷处设置在凹陷结构的上部，用于储存脱落的蒸镀材料，所述进气口设置在多个凹陷结构之间，用于使蒸镀材料的蒸汽通过。上述技术方案凹陷结构的凹陷处可以积累部分的蒸镀材料，防止蒸镀材料形成颗粒污染蒸镀设备，进而影响器件的性能和产品良率。同时减少开腔维护的次数。在开腔后，还可以对凹陷处处蒸镀材料进行回收，提升蒸镀材料的利用率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212741507 U (45)授权公告日 2021.03.19 (21)申请号 202021197068.0 (22)申请日 2020.06.24 (73)专利权人福建华佳彩有限公司