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基板载具和电镀设备.pdfVIP

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  • 2023-02-21 发布于四川
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基板载具和电镀设备.pdf

    本实用新型提供一种基板载具，包括：承载结构和盖板结构，所述承载结构用于承载待电镀的基板，所述盖板结构设置在所述承载结构的一侧，用于压覆所述基板的边缘，其中，所述盖板结构包括：具有电镀开口的边框；盖板电极，所述盖板电极设置在所述边框靠近所述承载结构的一侧；辅助电极，所述辅助电极设置在所述边框远离所述承载结构的一侧，所述辅助电极环绕所述电镀开口设置，所述辅助电极与所述盖板电极电连接。本实用新型还提供一种电镀设备。本实用新型能够提高电镀膜层的厚度均匀性。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212713792 U (45)授权公告日 2021.03.16 (21)申请号 202021385314.5 (22)申请日 2020.07.15 (73)专利权人 京东方科技集团股份有限公司

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