一种用于坩埚的监控设备.pdfVIP

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  • 2023-02-21 发布于四川
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本实用新型公布一种用于坩埚的监控设备,所述监控设备设置在坩埚处,所述坩埚用于装填蒸镀材料,所述监控设备包括导线、导电浮块和浮块衔接装置;所述浮块衔接装置具有间隔的两端子,所述浮块衔接装置的两端子分别与一所述导线连接,所述导线延伸到坩埚外;所述导电浮块用于浮于所述蒸镀材料上;所述浮块衔接装置设置在坩埚的底部,所述导电浮块用于与所述浮块衔接装置接触连接后使所述浮块衔接装置的两端连通。上述技术方案用可以对工作人员起到预警的作用,工作人员可以有序地进行补充蒸镀材料或者停止蒸镀,减少人力浪费的同时提高了坩

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212747994 U (45)授权公告日 2021.03.19 (21)申请号 202021468822.X (22)申请日 2020.07.23 (73)专利权人 福建华佳彩有限公司

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