原创力文档- 2
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- 2023-02-21 发布于四川
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本实用新型提供一种自动晶圆定位总成，用以定位晶圆以进行湿式加工。自动晶圆定位总成包含白努利转盘、复数定位装置及控制部。当白努利转盘未产生气垫且控制部使复数定位装置处于开启状态时，晶圆可被置入于白努利转盘上或自白努利转盘上取出。当白努利转盘产生气垫且控制部使复数定位装置处于关闭状态时，晶圆悬浮及旋转于白努利转盘上方以进行湿式加工。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212725265 U
(45)授权公告日 2021.03.16
(21)申请号 202021390704.1
(22)申请日 2020.07.15
(73)专利权人 弘塑科技股份有限公司
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