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- 2023-02-22 发布于四川
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本公开提供了一种蒸发装置及真空蒸镀系统，蒸发装置包括：基座；蒸发源支架，设置在基座上，蒸发源支架包括至少一个承载单元，用于承载至少一种蒸发材料；电子束发射器，设置在基座上，包括：发射丝，用于发射电子；第一电极，与发射丝的一端连接，用于与第一负高压连接；第二电极，与发射丝的另一端连接，用于与第二负高压连接；以及至少一个隔离柱，设置在第一电极和第二电极之间，用于隔离第一电极和第二电极。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218491831 U
(45)授权公告日 2023.02.17
(21)申请号 202221755848.1
(22)申请日 2022.07.07
(73)专利权人 费勉仪器科技（上海）有限公司
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