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一种磨针台及探针台.pdfVIP

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  • 2023-02-22 发布于四川
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一种磨针台及探针台.pdf

    本实用新型公开了一种磨针台及探针台。一种磨针台，压电陶瓷部连接于设置有导向部的磨针部，所述压电陶瓷部驱动所述磨针部沿导向部往复运动。一种探针台，所述探针台设置有上述的磨针台。本实用新型的有益效果在于，结构简单，清针效率高。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212762766 U (45)授权公告日 2021.03.23 (21)申请号 202021296869.2 (22)申请日 2020.07.06 (73)专利权人 矽电半导体设备（深圳）股份有限

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