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一种具有高强涂层结构的单晶炉用石墨导流筒.pdfVIP

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  • 2023-02-22 发布于四川
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一种具有高强涂层结构的单晶炉用石墨导流筒.pdf

    本实用新型公开了一种具有高强涂层结构的单晶炉用石墨导流筒，包括外筒以及内筒，外筒与内筒之间固定设有石墨毡层，内筒的内壁涂覆有碳化硅涂层，且内筒的内壁固定设有两个调节组件，两个调节组件均包括转接块、转轴、导流板、第一铰接座、气缸和第二铰接座，两个转接块固定设置在内筒的内壁，两个转接块均通过转轴分别与两个导流板的一端转动连接，两个导流板的一侧均固定设有第一铰接座，本实用新型的有益效果是：通过设置的外筒与内筒双层结构，当导流筒在使用过程中内筒或外筒发生破裂时，导流筒不会掉入石英坩埚内，避免了生产过程中

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212771040 U (45)授权公告日 2021.03.23 (21)申请号 202021513525.2 (22)申请日 2020.07.28 (73)专利权人 嘉祥洪润电碳有限公司

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