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双通道热机固晶机构.pdfVIP

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  • 2023-02-22 发布于四川
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双通道热机固晶机构.pdf

    本实用新型适用于半导体自动化固晶机使用的装置，提供了一种双通道热机固晶机构，包括用于输送框架的至少两个并排设置的过片通道、用于加热框架的加热部件、用于拨动框架前进的拨料装置以及用于将晶片贴在框架上的固晶机械手。本实用新型的双通道热机固晶机构可同时输送两片或两卷窄框架，在不加长过片通道的前提下，有效的提高了整体工作效率和实际产能，布局更加简洁方便。输送料框的通道可在单通道和双通道之间相互切换，对于宽框架可切换成单通道，窄框架可切换成双通道。

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218498025 U (45)授权公告日 2023.02.17 (21)申请号 202221481607.2 (22)申请日 2022.06.13 (73)专利权人 深圳市微恒自动化设备有限公司 地址

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