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- 2023-02-22 发布于四川
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本实用新型涉及一种渐变色镀膜治具，包括：固定框；旋转驱动机构，旋转驱动机构包括安装在固定框上的旋转驱动器及连接旋转驱动器的旋转轴，旋转轴设于固定框内：载片板，载片板的相对两侧上分别设置有第一传动轴和第二传动轴，第一传动轴与固定框枢接；传动杆，传动杆的一端与旋转轴枢接，传动杆的另一端与第二传动轴枢接。上述渐变色镀膜治具，载片板用于承载待镀膜基片，使用时，通过旋转驱动机构驱动载片板旋转，以调节待镀膜基片与靶材的溅射方向之间的角度，进而调节使待镀膜基片的不同位置与靶材之间保持不同的预设距离，实现渐变镀
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212770932 U
(45)授权公告日 2021.03.23
(21)申请号 202021317583.8
(22)申请日 2020.07.07
(73)专利权人 江西沃格光电股份有限公司
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