一种硅片烘干炉的温度控制装置.pdfVIP

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  • 2023-02-22 发布于四川
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本实用新型涉及光伏技术领域,且公开了一种硅片烘干炉的温度控制装置,包括安装架,所述安装架内顶壁的两侧均安装有电动推杆,所述电动推杆的底端安装有固定架,所述固定架的内部安装有稳定架,所述稳定架的内部横向安装有加热管,所述安装架顶端的两侧均安装有固定座,所述固定座的内部活动安装有双热电偶。本实用新型通过支撑板对硅片进行支撑,并通过滑轮与滑槽的组合,能够对支撑板的位置进行限制,通过多组加热管的交替工作,能够实现每段单独控制加热,通过双热电偶能够实时地对安装架内部的温度进行监测,能够实现烘干炉内部的精准

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212778334 U (45)授权公告日 2021.03.23 (21)申请号 202021399681.0 (22)申请日 2020.07.15 (73)专利权人 环

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