一种真空化学气相沉积炉焦油冷凝吸附器.pdfVIP

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  • 2023-02-22 发布于四川
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一种真空化学气相沉积炉焦油冷凝吸附器.pdf

本实用新型提供一种真空化学气相沉积炉焦油冷凝吸附器。所述真空化学气相沉积炉焦油冷凝吸附器包括罐体;进气管,所述进气管固定安装在所述罐体的一侧;排气管,所述排气管固定安装在所述罐体远离所述进气管的一侧;操作口,所述操作口开设在所述罐体的顶部内壁上;密封板,所述密封板法兰安装在所述操作口的顶部,所述密封板和所述操作口相适配;冷却筒,所述冷却筒固定安装在所述密封板的底部,所述冷却筒的底部延伸至所述罐体内,所述冷却筒和所述操作口相适配;储水腔,所述储水腔开设在所述冷却筒上。本实用新型提供的真空化学气相沉

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212757297 U (45)授权公告日 2021.03.23 (21)申请号 202021326306.3 (22)申请日 2020.07.08 (73)专利权人 湖南铠欣新材料科技有限公司

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