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一种膜厚控制装置及磁控溅射机.pdfVIP

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  • 2023-02-22 发布于四川
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一种膜厚控制装置及磁控溅射机.pdf

    本实用新型提供一种膜厚控制装置及磁控溅射机，涉及零件镀膜技术领域，所述膜厚控制装置包括与靶材相邻设置的遮挡结构；所述遮挡结构包括支撑杆，以及若干依次相邻设置的挡板；所述挡板位于所述靶材的上方，且所述挡板与所述支撑杆活动连接。本实用新型提供的膜厚控制装置，设置与靶材相邻的遮挡结构，通过在遮挡结构中设置若干个与支撑杆活动连接的挡板，从而能够根据零件的镀膜需求来对相应的挡板的位置进行调节，通过调节挡板的位置来改变对靶材的遮挡区域以及遮挡面积，进而实现对镀膜区域和镀膜厚度进行精确控制。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212770938 U (45)授权公告日 2021.03.23 (21)申请号 202021237343.7 (22)申请日 2020.06.29 (73)专利权人 常州星宇车灯股份有限公司

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