原创力文档- 3
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- 2023-02-23 发布于四川
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本实用新型提供一种三氯氢硅制备装置，包括：流化床反应器，流化床反应器的底部具有底进口，流化床反应器的顶部具有顶出口；换热装置包括N级串联的换热器，N大于或等于2，换热装置中一级换热器的进气口与顶出口连通；汽化器，汽化器的出料口与换热装置中N级换热器的进料口连通；第一加热器的进料口与换热装置中一级换热器的出料口连通，第一加热器的出料口与底进口连通；N级换热器的出气口与分离塔的第一进料口连通。在使用过程中，通过N级串联的换热器使得合成气中热量有效回收利用，不易造成换热器热疲劳，使用寿命延长，金属氯化
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218501993 U
(45)授权公告日 2023.02.21
(21)申请号 202222880086.4 F28D 21/00 (2006.01)
(22)申请日 2022.10.
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