MEMS热式流量传感器.pdfVIP

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2023-02-23 发布于四川
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MEMS热式流量传感器.pdf

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本实用新型提供一种MEMS热式流量传感器，其包括：半导体衬底，所述半导体衬底具有第一表面及第二表面；热敏层，设置在所述半导体衬底的第一表面，所述热敏层包括依次设置的第一介质层、图案化的热敏电阻层及第二介质层，所述第一介质层与所述第二介质层的厚度相同，且所述第一介质层与所述第二介质层的形成方法及材料均相同；保护层，覆盖所述热敏层；导电连接件，贯穿所述保护层及第二介质层，并与所述热敏电阻层的焊盘电连接；热隔离腔，自所述半导体衬底的第二表面向所述第一表面延伸。本实用新型优点是工艺简单、成本低、可靠性高

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212843774 U (45)授权公告日 2021.03.30 (21)申请号 202020713583.3 (22)申请日 2020.04.30 (73)专利权人苏