ACT6或8寸兼容陶瓷手臂.pdfVIP

下载本文档

1
0
约6.31千字
约 7页
2023-02-23 发布于四川
举报
版权申诉

ACT6或8寸兼容陶瓷手臂.pdf

1、本文档共7页，其中可免费阅读4页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本实用新型公开了ACT6或8寸兼容陶瓷手臂，包括安装板，所述安装板的下端转动连接有转动柱，所述转动柱上安装有旋转机构，所述转动柱的下端固定有连接板，所述连接板的下端设有两个安装槽，所述安装槽内通过角度调节机构连接有陶瓷手臂，所述陶瓷手臂内设有圆腔，所述圆腔内设置有缓冲机构，所述陶瓷手臂的下端设有与缓冲机构连接的吸附板，所述吸附板内设有吸附机构。本实用新型结构合理，其采用真空吸附的形式能够兼容6寸以及8寸晶圆的吸附，大大提高了传输的高效性。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212795003 U (45)授权公告日 2021.03.26 (21)申请号 202021538898.5 (22)申请日 2020.07.30 (73)专利权人上海图双精密装备有限公司