一种适用于透明晶元的OF对准装置.pdfVIP

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2023-02-23 发布于四川
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一种适用于透明晶元的OF对准装置.pdf

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本实用新型公开了一种适用于透明晶元的OF对准装置，包括卡座，所述卡座的内部设有装置槽，所述装置槽的内部设有待对准的晶圆本体，所述卡座的内部设有用于提供动力并带动晶圆本体转动的驱动机构，所述卡座的上端设有与驱动机构配合的用于对晶圆本体进行对准的检测机构，所述卡座的上端设有用于带动晶圆本体移动的移位机构。本实用新型结构合理，可以通过电机带动晶圆旋转，然后在红外发射器以及红外接收器的配合下，对晶圆的外缘进行检测。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212810241 U (45)授权公告日 2021.03.26 (21)申请号 202021538900.9 (22)申请日 2020.07.30 (73)专利权人上海图双精密装备有限公司