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本实用新型涉及真空镀膜设备检测技术领域，尤其为一种真空镀膜装置用检测机构，包括第一三通管和过滤箱，所述第一三通管与过滤箱连通，所述过滤箱底端连通有第二三通管，所述第二三通管的左侧连通有真空计，所述过滤箱顶端滑动连接有固定板，所述固定板底端固定连接有支架，所述支架内侧滑动连接有过滤网，本实用新型中，通过设置的螺纹轴、第一三通管和第二三通管，这种设置配合过滤箱与第一三通管及第二三通管的连通、固定板与支架的固定连接、螺纹轴与过滤箱的螺旋连接和密封垫与过滤箱的滑动连接，在使用装置时，方便了对过滤网的清理
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212871648 U
(45)授权公告日 2021.04.02
(21)申请号 202021956741.4
(22)申请日 2020.09.09
(73)专利权人 沈阳镨和真空电子设备有限公司
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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