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                本实用新型公开一种研磨垫结构,包含一下层、一上层,其一面为研磨面,另一面与该下层相接、一开口穿过该下层与该上层、以及一弹性光学窗,与该上层相接并盖住整个该开口,其中该弹性光学窗的一表面呈曲面型态从该研磨面向外凸出。
                    
   (19)中华人民共和国国家知识产权局 
                             (12)实用新型专利 
                                                     (10)授权公告号 CN 212886988 U 
                                                     (45)授权公告日 2021.04.06 
   (21)申请号  202021614216.4 
   (22)申请日  2020.08.06 
   (73)专利权人 联芯集成电路制造(厦门)有限公 
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