一种全新的8英寸物理气相沉积钽腔体连接配件装置.pdfVIP

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2023-02-26 发布于四川
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一种全新的8英寸物理气相沉积钽腔体连接配件装置.pdf

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本实用新型公开了一种全新的8英寸物理气相沉积钽腔体连接配件装置，包括：连接台和连接柱，所述连接柱设置在连接台的一端且与连接台一体成型，所述连接柱和连接台均为柱形结构，所述连接台和连接柱的外壁上均匀刻制有刻花，所述刻花包括若干条倾斜相交的凸条，所述凸条相交形成若干个六边形结构的空腔，所述连接柱表面的空腔面积小于连接台表面的空腔面积。本实用新型通过在配件表面的刻花，增大接触面积，能粘附更多的附属物，同时分散这些附着物的应力分布，附着的附属物不容易剥落，减小颗粒产生的几率，提高制程的质量，延长腔体保养

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212925146 U (45)授权公告日 2021.04.09 (21)申请号 202021699842.8 (22)申请日 2020.08.15 (73)专利权人上海知昊电子科技有限公司