一种阵列基板线缺陷的红外检出及修复装置.pdfVIP

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2023-02-26 发布于四川
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一种阵列基板线缺陷的红外检出及修复装置.pdf

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本实用新型公开了一种阵列基板线缺陷的红外检出及修复装置，包括支架；水平承载台，设置在支架上；第一定位机构，包括两个第一定位轴和一个与第一定位轴垂直设置的第二定位轴，其中，两个第一定位轴沿X向分别固定设置于水平承载台的两端；第二定位轴沿Y向设置在第一定位轴上且可沿第一定位轴的轴向移动；镜箱，设置在第二定位轴上且可沿第二定位轴的轴向移动；镜箱内集成有红外成像探测系统以及镭射修补系统。本实用新型可对阵列基板上各种类型的缺陷进行检测、精准定位以及修补，并在修补缺陷后，可直接确认缺陷是否修复成功。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212933182 U (45)授权公告日 2021.04.09 (21)申请号 202021874700.0 (22)申请日 2020.09.01 (73)专利权人咸阳彩虹光电科技有限公司