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光栅测量学问
现代光栅测量技术
从 20 世纪 50 年月至 70 年月，栅式测量系统从感应同步器发 展到光栅、磁栅、容栅和球栅，这 5 种测量系统都是将一个栅距 周期内确实定式测量和周期外的增量式测量结合起来，测量单位 不是像激光一样的光波波长，而是通用的米制 标尺。它们有各自 的优点，相互补充，在竞争中都得到了进展。但光栅测量系统的 综合技术性能优于其它 4 种，而且其制造费用又比感应同步器、 磁栅、球栅低，因此光栅进展最快，技术性能最高，市场占有率 最高，产业最大。在栅式测量系统中，光栅的占有率已超过 80%, 光栅长度测量系统的区分率已掩盖微米级、亚微米级和纳米级;
测量速度从 60m
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