一种刻蚀机装片治具.pdfVIP

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2023-02-26 发布于四川
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一种刻蚀机装片治具.pdf

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本实用新型公开了一种刻蚀机装片治具，包括操作台，固定设置在操作台上的支撑框，所述支撑框上设置有可翻转的装片托盘定位框，托盘定位框上设置有可打开的用于压紧晶片的上盖，还设置有可上下移动的支撑底托，支撑底托作用在装片托盘上且可转动。通过本实用新型能够实现晶片的快速定位安装，且结构简单，操作方便，装配稳定性好，可广泛应用于刻蚀机晶片定位安装领域。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212934587 U (45)授权公告日 2021.04.09 (21)申请号 202021873313.5 (22)申请日 2020.09.01 (73)专利权人黄山博蓝特半导体科技有限公司