一种石墨舟的移载机构及半导体加工设备.pdfVIP

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2023-02-26 发布于四川
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一种石墨舟的移载机构及半导体加工设备.pdf

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本实用新型公开一种石墨舟的移载机构及半导体加工设备，所公开的移载机构包括移载本体(100)、加热器(200)和安装件(300)；其中：所述加热器(200)通过所述安装件(300)设置于所述移载本体(100)，所述加热器用于在所述石墨舟(400)设置于所述移载本体(100)时，对所述石墨舟(400)进行加热。上述方案能够解决半导体加工设备产能较低的问题。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212925163 U (45)授权公告日 2021.04.09 (21)申请号 202020688621.4 (22)申请日 2020.04.29 (73)专利权人北