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- 2023-02-27 发布于北京
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本实用新型公开一种减少玻璃基板检测缺陷的传送装置，用于玻璃基板的干燥，包括传送单元，其还包括至少一对热风刀组件，所述热风刀组件包括用于输出热风的上风刀和用于输出热风的下风刀，所述上风刀的风刀口朝向待干燥的玻璃基板的上表面，所述下风刀的风刀口朝向待干燥的玻璃基板的下表面。传送单元的上下分别设置上风刀、下风刀。从上风刀和下风刀送出热风的吹干玻璃基板，不牺牲良率的情况下，大大降低在检测流程中AOI非真实缺陷(FALSEDEFECT)的检出，同时增加的热风刀组可以对玻璃基板再次吹干，确保玻璃基板表面无
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212981822 U
(45)授权公告日 2021.04.16
(21)申请号 202021874441.1
(22)申请日 2020.09.01
(73)专利权人 深圳亿博尔电子科技有限公司
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