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- 2023-02-27 发布于北京
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本申请提供一种气相沉积炉的保温筒，包括支撑框架、保温板、内筒和外筒；支撑框架为圆筒形框架，支撑框架具有若干个安装口，且安装口沿圆筒形框架的周侧环绕设置；内筒设置在支撑框架的内侧，且内筒贴合支撑框架的内壁，外筒设置在支撑框架的外侧，且外筒贴合支撑框架的外侧，安装口的前后两侧被内筒和外筒封闭；保温板嵌设在安装口内，且保温板夹在内筒与外筒之间。本申请实施例提供的气相沉积炉的保温筒，软质的保温板的外侧被支撑框架、内筒和外筒包裹住，能够防止保温板瘫软，从而能提高保温筒的使用寿命。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218521179 U
(45)授权公告日 2023.02.24
(21)申请号 202222689997.9
(22)申请日 2022.10.13
(73)专利权人 湖南天雅科技有限公司
地址 41
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