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一种晶圆片自动传片装置.pdfVIP

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  • 2023-02-27 发布于北京
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一种晶圆片自动传片装置.pdf

    本实用新型涉及一种晶圆片自动传片装置，通过自动化控制的驱动机构将晶圆片从供片晶圆盒推动至接片晶圆盒，实现传片速度、力度和距离精准控制，防止速度过快而造成晶圆片损坏，速度过慢而影响传片效率。配合第一位置检测装置、第二位置检测装置，限定推杆的行程，并实现推杆的自动推动与自动返回，提高生产效率。通过压力检测装置对晶圆盒是否放置到位进行检测，当检测到晶圆盒放置到位后，允许驱动机构进行传片动作，避免因晶圆盒放置不到位，造成晶圆片破片或崩边。本实用新型的实施可实现晶圆盒放置到位自检测与自动传片，减少人为因素

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212991062 U (45)授权公告日 2021.04.16 (21)申请号 202021687490.4 (22)申请日 2020.08.13 (73)专利权人 厦门市三安集成电路有限公司

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