一种晶圆测试矫正抓手.pdfVIP

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2023-02-28 发布于四川
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一种晶圆测试矫正抓手.pdf

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本实用新型公开了一种晶圆测试矫正抓手，包括：电动液压缸、矫正托板、定位装置和C型矫正外壳，所述电动液压缸顶部一侧通过螺钉固定连接有矫正托板，所述矫正托板顶面靠近电动液压缸一端通过螺钉固定连接有C型矫正外壳，本实用新型通过微型电机带动齿形转轴转动，齿形转轴带动同步齿形传动带转动，通过同步齿形传动带与晶圆侧面的摩擦力，使得晶圆也跟随转动，直至定位球头伸入晶圆底部的凹槽中，此时晶圆的角度矫正完成，通过定位装置与导向装置以及C型矫正外壳的角度矫正，大大减少了晶圆的角度偏移量，减少了预调焦分系统的矫正时间

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213026055 U (45)授权公告日 2021.04.20 (21)申请号 202021751627.8 (22)申请日 2020.08.20 (73)专利权人广东全芯半导体有限公司