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传感器与检测技术课件第四章 第一页，共三十九页，2022年，8月28日 引言 电容式传感器是将被测非电量的变化转化为电容变化量的一种传感器。 结构简单、分辨力高、可非接触测量，并能在高温、辐射和强烈震动等恶劣条件下工作 。 很有发展前途的传感器 。 第二页，共三十九页，2022年，8月28日 4.1电容式传感器工作原理 由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器，如果不考虑边缘效应，其电容量为 保持其中两个参数不变，仅改变其中一个参数，就可把该参数的变化转换为电容量的变化，通过测量电路就可转换为电量输出。 电容式传感器工作方式可分为变极距式、变面积式和变介质式3种类型。 第三页，共三十九页，2022年，8月28日 4.1 变面积式电容传感器 面积变化式电容传感器在工作时的极距、介质等保持不变，被测量的变化使其有效作用面积发生改变。 变面积式电容传感器的两个极板中，一个是固定不动的，称为定极板，另一个是可移动的，称为动极板。 第四页，共三十九页，2022年，8月28日 面积变化型电容传感器原理 1. 直线位移型 第五页，共三十九页，2022年，8月28日 面积变化型电容传感器原理 2. 角位移型 第六页，共三十九页，2022年，8月28日 面积变化型电容传感器原理 3. 圆筒型 第七页，共三十九页，2022年，8月28日 4.1.2 变极距式电容传感器 当改变电容器两极板间的距离时，电容器的电容也会发生变化。 第八页，共三十九页，2022年，8月28日 （a）为平板形位移电容传感器。 设两个相同极板的长为b，宽为a，极板间距离为d，当动极板移动x后，电容Cx也随之改变。 电容的相对变化量和灵敏度为 第九页，共三十九页，2022年，8月28日 差动结构形式 提高测量精度 ，减少动极板与定极板之间的相对极距可能变化而引起的测量误差。 第十页，共三十九页，2022年，8月28日 4.1.3 变介质式电容传感器 介质变化型电容传感器的极距、有效作用面积不变，被测量的变化使其极板之间的介质情况发生变化。 主要用来测量两极板之间的介质的某些参数的变化，如介质厚度、介质湿度、液位等。 第十一页，共三十九页，2022年，8月28日 介质变化型电容传感器结构 1.位移型 第十二页，共三十九页，2022年，8月28日 介质变化型电容传感器结构 2.液位型 第十三页，共三十九页，2022年，8月28日 结论 传感器的灵敏度为常数，电容C理论上与液面h成线性关系，只要测出传感器电容C的大小，就可得到液位h。 第十四页，共三十九页，2022年，8月28日 当电容传感器处于初始位 置时，电桥平衡，电桥输出电 压 ；当被测量的变 化引起电容传感器的电容发生 变化时，电桥失去平衡，电桥 有电压输出，即 。 4.2 电容式传感器的测量电路 常用电路有:电桥电路、运算放大器测量电路、脉冲调制电路、调频电路。 1.电桥电路 。 第十五页，共三十九页，2022年，8月28日 4.2电容式传感器的测量电路 1.电桥电路 为了提高灵敏度，减小误差，常采用差动形式，其电路如图所示。Cx1和Cx2表示差动式电容传感器的两个电容。 第十六页，共三十九页，2022年，8月28日 4.2电容式传感器的测量电路 1.电桥电路--电桥测量电路框图 第十七页，共三十九页，2022年，8月28日 4.2电容式传感器的测量电路 2.二极管双T形交流电桥 二极管双T形交流电桥电路原理如图4-12所示。图中，C1、C2为差动电容式传感器的电容，RL为负载电阻，VD1、VD2为理想二极管，R1、R2为固定电阻；e为高频电源，它提供幅值为Ue的对称方波。 第十八页，共三十九页，2022年，8月28日 4.2电容式传感器的测量电路 3.运算放大器式测量电路 运算放大器的特点就是放大倍数A很大，输入阻抗也很大。理想的运算放大器的放大倍数和输入阻抗都是无穷大。利用运算放大器的这些特点就可作为电容式传感器的测量电路，来解决单个变极距式电容器传感器的非线性问题。运算放大器式测量电路如图所示。图中，C为总的输入电容，Cx是电容传感器。 第十九页，共三十九页，2022年，8月28日 4.2电容式传感器的测量电路 4.调频电路: 把电容式传感器作为振荡器谐振电路的一部分，其部分电路如图所示。当被测量引起电容量变化时，振荡器的振荡频率就会发生变化，然后通过鉴频器把频率的变化转换为幅值的变化，再经过放大后就可以通过仪表显示出来。 调频电路具有较高的灵敏度，可测至0.01μm级位移变化量。易于用数字仪器测量，并能与计算机通讯，抗干扰能力强。 第