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一种水冷导流筒.pdfVIP

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  • 2023-03-01 发布于四川
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一种水冷导流筒.pdf

    本实用新型公开了一种用于制备硅单晶的水冷导流筒，涉及硅单晶棒拉晶设备技术领域。其包括导流筒主体、设于所述导流筒主体的水冷管道和用于固定所述水冷管道的固定环体，所述导流筒主体的内壁包括散热加强区和观察区，所述散热加强区安装有若干个散热片。本实用新型提供的一种水冷导流筒，能够快速带走固液面交接处的结晶潜热，加快单晶生长，提高单晶产量和单晶拉速。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213037872 U (45)授权公告日 2021.04.23 (21)申请号 202021250485.7 (22)申请日 2020.06.30 (73)专利权人 宁晋晶兴电子材料有限公司

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