一种半导体机械手架.pdfVIP

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2023-03-01 发布于四川
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本实用新型公开了一种半导体机械手架，其技术方案要点是：包括安装板，安装板上固定设置有机械手本体，机械手本体上固定设置有导热机构，导热机构由基板和导热体组成，基板固定设置在机械手本体的下端面，导热体固定设置在基板的下端面，导热体为棒状，导热体中空设置，导热体上开设有多个通孔，通孔均匀分布在导热体上，安装板上固定设置有固定盒，固定盒的下端固定设置挡板，固定盒对应于挡板处开设有进风口，进风口内设置有安装架，安装架上固定设置有风扇，固定盒的左右两端开设有多个接口，接口与风道接通，风道异于与固定盒连接的一

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218525545 U (45)授权公告日 2023.02.24 (21)申请号 202220087240.X (22)申请日 2022.01.13 (73)专利权人无锡市安晏克半导体有限公司地址