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一种用于砷化镓蓝膜的承载治具.pdfVIP

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  • 2023-03-02 发布于四川
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一种用于砷化镓蓝膜的承载治具.pdf

    本实用新型公开了一种用于砷化镓蓝膜的承载治具，该承载具作为砷化镓产品的专用治具，不同于封装设备(ASM)使用的常规治具，其结构可分为上下两层，下层结构用于将整个治具设置在封装设备上，上层结构用于承载并固定砷化镓蓝膜。该专用承载治具改变了设备加工产品的多样性，不受制于常规承片台加工形式，该治具在实际作业过程中，安全高效，使用便捷；避免二次接触杜绝了沾污、划伤、裂片风险。使用时操作方便，节省更换晶圆时间、提升作业效率。通过使用该治具实现砷化镓蓝膜等特殊产品正常量产作业。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213071097 U (45)授权公告日 2021.04.27 (21)申请号 202022522504.3 (22)申请日 2020.11.04 (73)专利权人 华天科技（西安）有限公司

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