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特种工件真空镀膜控制系统.pdfVIP

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  • 2023-03-02 发布于四川
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特种工件真空镀膜控制系统.pdf

    本实用新型实施例公开了一种特种工件真空镀膜控制系统，至少包括：第二控制单元；翻板阀启闭驱动单元，驱动翻板阀向上或向下翻转；传送驱动单元，驱动传送机构运转，以传送工件；第一泵组驱动单元，驱动第一泵组启动；第一插板阀启闭驱动单元，驱动第一插板阀的开启或关闭；第二泵组驱动单元，驱动第二泵组启动；离子源启动单元，控制第一离子源室和第二离子源室启动离子源；中频电源启动单元，控制第一镀膜工艺室和第二镀膜工艺室启动中频电源；第二插板阀启闭驱动单元，驱动第二插板阀的开启或关闭。本实用新型实施例，通过真空镀膜控制

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213086105 U (45)授权公告日 2021.04.30 (21)申请号 202020614914.8 (22)申请日 2020.04.22 (73)专利权人 广东生波尔光电技术有限公司

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