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一种晶圆烘干装置.pdfVIP

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  • 2023-03-02 发布于四川
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一种晶圆烘干装置.pdf

    本实用新型公开了一种晶圆烘干装置，该晶圆烘干装置包括底座、烘干组件和温度检测件，烘干组件为多个，多个烘干组件依次套设，且每个烘干组件可升降地设在底座上，烘干组件能够支撑晶圆，温度检测件设在底座上方，温度检测件用于检测晶圆的温度。该晶圆烘干装置，由于具有多个套设的烘干组件，使得多个烘干组件对晶圆进行不均匀烘干，实现对涂胶过程中边缘效应的补偿，改善了晶圆边缘膜厚较厚的现象，从而保证了晶圆上的薄膜层的厚度较为均匀。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213069478 U (45)授权公告日 2021.04.27 (21)申请号 202022085203.9 (22)申请日 2020.09.21 (73)专利权人 广东中图半导体科技股份有限公

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