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一种用于直写光刻机的电机串并联系统.pdfVIP

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  • 2023-03-02 发布于四川
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一种用于直写光刻机的电机串并联系统.pdf

    本实用新型公开了一种用于直写光刻机的电机串并联系统，包括：花岗岩大理石；多个扫描轴，每个扫描轴具有至少一个扫描电机动子；多个工作吸盘，多个工作吸盘一一对应地设于多个扫描轴上；第一电控系统，第一电控系统与每个扫描轴的每个扫描电机动子连接，第一电控系统在第一状态和第二状态之间可切换；其中，第一电控系统处于第一状态时，第一电控系统控制至少两个扫描轴的扫描电机动子同时运动；第一电控系统处于第二状态时，第一电控系统控制至少两个扫描轴的扫描电机动子单独运动。根据本实用新型实施例的一种用于直写光刻机的电机串并

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213069473 U (45)授权公告日 2021.04.27 (21)申请号 202022234271.7 (22)申请日 2020.10.09 (73)专利权人 合肥芯碁微电子装备股份有限公

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