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一种旋转式阴极系统.pdfVIP

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  • 2023-03-02 发布于四川
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一种旋转式阴极系统.pdf

    本实用新型涉及旋转式磁控溅射技术领域，具体涉及一种旋转式阴极系统。本实用新型提供了一种旋转式阴极系统，包括冷水机、靶管、磁棒管、一进水轴和一出水轴；进水轴的外壁呈环状开设有若干第一分水孔；出水轴的外壁呈环状开设有若干第二分水孔；其中，冷水机的冷却水经过若干第一分水孔向靶管内壁环状喷射；靶管内的冷却水经过若干第二分水孔汇流。进水轴的设置，使得冷却水经冷水机进入靶管和磁棒管之间的间隙时，冷却水能够环状均匀沿冷水机进入靶管和磁棒管之间的间隙流动，不易在局部存留气泡，从而达到高效冷却换热的目的，减少用水

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218539806 U (45)授权公告日 2023.02.28 (21)申请号 202222967808.X (22)申请日 2022.11.08 (73)专利权人 常州比太科技有限公司 地址 21

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